利用热电偶的电势与加热元件的温度有关，元件的温度又与气体的热传导有关的原理来测量真空度的真空计。

作原理

热电偶接在白金或钨的细线上。这段细线通过电后会发热。发出的热量通过周围气体分子的热传导，或细线本身的固体热传导,或热辐射放出。利用气体分子承担的热传导量与压力成正比的点是此真空计的原理。

如果保持细线的发热量即保持定的电,则周围压力的时候气体夺走的热量较多，致使细线的温度较低。反过来周围压力低的时候细线的温度会升。这种温度的变化通过热电偶检测出来,将热电偶的起电力换成压力之后即可知真空腔内的压力。

使用注意事项

校准

热偶真空计在使用前也需要行校准，热偶规管在未开封前真空度已抽至为10^-2~10^-3Pa。将热偶规管与仪器连接，使管座垂直向上，接通仪器电源开关，预热10min,"热偶转换"开关置"加热电"位置，调节"加热电"旋钮，使加热电达到规定值(加热电标注在每支热电偶真规管的管座上或使用说明书中)，热偶真空计针满度，持续1min，再将"热偶选择"开关放在"测量"位置上，这样反复测定三次，成热偶真空计的校准作。

在热偶规管内

气体导热是气体与热丝碰撞的结果且与热丝表面状况有关。因此，应保持管内及热丝表面状清洁，般不要在大气压状态下对热丝加热，尽量减少油蒸气污染。

热偶规管对电磁场敏感，测量时应避免外界电磁场干扰，如测量中不要使频火花移近热偶规管。

波尔登规

细的铜管受气体压力不同会有舒展现象，会带动杠杆和齿轮旋转，使得针示在不同刻度上，即可读出相应的气压值。这种规的测量范围般在100Pa至1atm。

薄膜电容规

在不同压力下金属膜片受力不同会有不同尺度的变形，使得金属膜片和电之间的电容变化，通过测量电容的变化量，即可知道金属膜片上气压的变化。

这种规的测量范围般横跨4个量，比如可能是0.01Pa至100Pa、0.1Pa至1000Pa等。

这种规的优点是灵敏度很。缺点是在于环境温度的恒温条件下使用，以消除温度不同对膜片力学性能的影响，使用前般需要预热数小时。

皮拉尼电阻规

由于不同气压下气体分子热传导能力不同，当给热丝加恒定的电时，由于气压不同通过气体传导走的热量不同，热丝所保持的温度就不同，这导致热丝电阻大小不同，通过测量热丝电阻大小就可以推算气压大小。

如果配合电桥测量热丝电阻的变化，将有效提测量的准确度。

这种规的测量范围般在0.1Pa至1000Pa。