单频与双频激光干涉仪

激光干涉仪，以激光波长为已知长度，利用迈克耳逊干涉系统测量位移的通用长度测量。

单频与双频激光干涉仪

单频的激光器它的个根本弱点就是受环境影响严重，在测试环境恶劣，测量距离较长时，这缺点十分突出。其原因在于它是种直测量系统，然具有直光平和电平零漂的弊端。激光干涉仪可动反光镜移动时，光电接收器会输出信号，如果信号过了计数器的触发电平则就会被记录下来，而如果激光束强度发生变化，就有可能使光电信号低于计数器的触发电平而使计数器停止计数，使激光器强度或干涉信号强度变化的主要原因是空气湍，机床油雾，切削屑对光束的影响，结果光束发生偏移或波面扭曲。这种无规则的变化较难通过触发电平的自动调整来补偿，因而限制了单频干涉仪的应用范围，只有设法用交测量系统代替直测量系统才能从根本上克服单频激光干涉仪的这弱点。

而双频激光干涉仪正好克服了这弱点，它是在单频激光干涉仪的基础上发展的种外差式干涉仪。和单频激光干涉仪样，双频激光干涉仪也是种以波长作为标准对被测长度行度量的仪器，所不同者，方面是当可动棱镜不动时，前者的干涉信号是介于亮和暗之间的某个直光平，而后者的干涉信号是个频率约为1.5MHz的交信号；另方面，当可动棱镜移动时，前者的干涉信号是在亮和暗之间缓慢变化的信号，而后者的干涉信号是使原有的交信号频率增加或减少了△f，结果依然是个交信号。因而对于双频激光干涉仪来说，可用放大倍数较大的交放大器对干涉信号行放大，这样，即使光强衰减90%，依然可以得到合适的电信号。由于这点，双频激光干涉仪可以在恒温，恒湿，防震的计量室内检定量块，量杆，刻尺和坐标测量机等，也可以在普通车间内为大型机床的刻度行标定，既可以对几十米的大量程行测量，也可以对手表零件等微小运动行测量，既可以对几何量如长度、角度．直线度、平行度、平面度、垂直度等行测量，也可以用于殊场合，诸如半导体光刻的微定位和计算机存储器上记录槽间距的测量等等。

总之，双频激光干涉仪的性主要有以下几点：

1. 度 双频激光干涉仪以波长作为标准对被测长度行度量的仪器。即使不做细分也可达到μm 量，细分后更可达到n m量。(安捷伦5530激光干涉仪线性度能达到0.4PPM)

2. 应用范围广 双频激光干涉仪除了可用于长度的测量外，测量角度、直线度、平面度、振动距离及速度等等，还可以分光行多路测量。

3. 环境适应力强 即使光强衰减 90%，仍然可以得到有效的干涉信号。由于这点，双频激光干涉仪既可在恒温、恒湿、防震的计量室内检定量块、量杆、刻尺、微分校准器和坐标测量机，也可以在普通的车间内为大型的机床的刻度行标定。