探针台的维护保养

探针台主要应用于半导体行业、光电行业、集成电路以及封装的测试。 广泛应用于复杂、速器件的电气测量的研发，旨在确保质量及可靠性，并缩减研发时间和器件制的成本。

维护

探针测试台x-y作台的分类

纵观内外的自动探针测试台在能及组成上大同小异，即主要由x-y向作台，可编程承片台、探卡/探卡支架、打点器、探边器、操作手柄等组成，并配有与测试仪(TESTER)相连的通讯接口。但如果按其x-y作台结构的不同可为两大类，即:以美EG公司为代表的平面电机型x-y作台(又叫磁性气浮作台)自动探针测试台和以日本及欧洲家的采用滚珠丝杠副和直线导轨结构的x-y作台型自动探针测试台。由于x-y作台的结构差别很大，所以其使用维护保养不可概而论，应区别对待。

x-y作台的维护与保养

无论是自动探针测试台还是自动探针测试台，x-y向作台都是其zui核心的分。有数据表明探针测试台的故障中有半数以上是x-y作台的故障，而作台故障有许多是对其维护保养不当或盲目调整成的，所以对作台的维护与保养就显得尤为重要。本文仅对自动探针测试台x-y作台的维护与保养作介绍。

2.1 平面电机x-y步作台的维护与保养

平面电机由定子和动子组成，它和传统的步电机相比其殊性就是将定子展开，定子是基础平台， 动子和定子间有层气垫，动子浮于气垫上，而可编程承片台则安装在动子之上。这种结构的x-y作台，由于动子和定子间无相对摩擦故无磨损，使用寿命长。

而定子在过程中厂家根据不同的要求如分辨力等，用机的方法在平面的铁制铸件上出若干个线槽，线槽间的距离即称为平面电机的齿距，而定子则按不同的细分控制方式，按编制好的运行程序借助于平面定子和动子之间的气垫才能实现步运动。对定子的损伤将直接影响作台的步度及设备使用寿命，损坏严重将成设备无法使用而报废。

由于平面电机的定子及动子是暴露在空气中，所以潮湿的环境及长时期保养不当将很容易使定子发生锈蚀现象，另外重物的碰撞及坚锐器物的划伤都将对定子成损伤，而影响平面电机的步度及使用寿命，对于已生锈的定子可以用天然油石轻轻地向个方向打磨定子的表面，然后用脱脂棉蘸煤油清洗，整个过程操作要十分地细心，不可使定子表面出现凹凸不平的现象。另外也可用没有腐蚀性，不损坏定子的除锈剂除锈。对于正常情况下的定子则要定期作除尘清理作，清理时应通入大气以便动子移动，方法是用脱脂棉蘸少许大于95%的无水乙醇，轻擦定子表面，然后用用具撬起动子，方法同前， 轻擦动子表面，动子的表面有若干个气孔，它是定子和动子间压缩空气的出孔，观察这此气孔的放气是否均匀，否则用具小心旋开小孔中内嵌气孔螺母检查是否有杂质堵塞气孔，处理毕后应恢复内嵌气孔螺母原始状态。需要别注意的是在未加压缩空气时不可强行拉动动子，以免成定子及动子的损伤。平面电机应使用在环境温度15~25 ℃，相对湿度小于50%的环境中，其所需的压缩空气经过干燥过滤处理且与环境空气温度差值小于5 ℃，气压为0.4±0.04MPa。