四探针测试仪

1.    四探针测试仪 四探针检测仪 四探针测定仪/四探针电阻率测定仪  型号：MHY-7795

MHY-7795型四探针测试是运用四探针测量原理的多用途综合测量设备。该仪器按照单晶硅物理测试方法家标准并参考美 A.S.T.M 标准而的，用于测试半导体材料电阻率及方块电阻（薄层电阻）的用仪器。
仪器由主机、测试台、四探针探头、计算机等分组成，测量数据既可由主机直接显示，亦可由计算机控制测试采集测试数据到计算机中加以分析，然后以表格，图形方式统计分析显示测试结果。
仪器采用了电子行、装配。具有能选择直观、测量取数快、度、测量范围宽、稳定性好、结构紧凑、易操作等点。
本仪器适用于半导体材料厂、半导体器件厂、科研单位、等院校对半导体材料的电阻性能测试。

四探针测试仪 术 标 ： 

 测量范围  电阻率：10-5～105 Ω.cm(可扩展)；  
 方块电阻：10-4～106 Ω/□(可扩展)； 
 电导率：10-5～105 s/cm； 
 电阻：10-5～105 Ω； 
 
可测晶片直径  140mmX150mm(配S-2A型测试台)；
 200mmX200mm(配S-2B型测试台)；
 400mmX500mm(配S-2C型测试台)； 
恒源  电量程分为1μA、10μA、100μA、1mA、10mA、100mA六档，各档电连续可调 
数字电压表  量程及表示形式：000.00～199.99mV；
 分辨力：10μV；
 输入阻抗：>1000MΩ；
 度：±0.1% ；
 显示：四位半红色发光管数字显示；性、量程自动显示； 
四探针探头基本标  间距：1±0.01mm；
 针间缘电阻：≥1000MΩ； 
 机械游移率：≤0.3%；
 探针：碳化钨或速钢Ф0.5mm；
 探针压力：5～16 牛顿(总力)； 
四探针探头应用参数  (见探头附带的合格证) 
模拟电阻测量相对误差
( 按JJG508-87行)  0.01Ω、0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω、1000Ω、10000Ω≤0.3%±1字 
整机测量zui大相对误差 (用硅标样片：0.01-180Ω.cm测试)≤±5% 
整机测量标准不确定度  ≤5% 
计算机通讯接口  并口，速并行采集数据，连接电脑使用时采集数据到电脑的时间只需要1.5  秒（在 0.1mA、1mA、10mA、100mA量程档时）。连接电脑使用时带自动测量  能，自动选择适合样品测试电量程； 
标准使用环境  温度：23±2℃；
 相对湿度：≤65%；
 无频干扰；
 无强光直射； 

配置 主机、探针台、四探针探头、